層流罩的塵埃粒子測(cè)試方法

       層流罩是能將操作員與產(chǎn)品屏蔽隔離的設(shè)備之一，其主要用途是避免產(chǎn)品污染。從潔凈室吸取的空氣，然后采用頂部增壓艙里安裝的風(fēng)扇通過(guò)HEPA過(guò)濾垂直穿過(guò)操作區(qū)域，為關(guān)鍵區(qū)域提供ISO 5(級(jí)別100)的單向流空氣。廢氣從下面排出，返回潔凈室區(qū)域。它主要由箱體、風(fēng)機(jī)、高效空氣過(guò)濾器、阻尼層、燈具等組成。
 

　　潔凈層流罩是將空氣以一定地風(fēng)速通過(guò)高效過(guò)濾器后，形成均流層，使?jié)崈艨諝獬蚀怪眴蜗蛄?，從而保證了工作區(qū)內(nèi)達(dá)到工藝要求的高潔凈度。潔凈度等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)：工作區(qū)內(nèi)≥0.5μm粒徑的塵埃≤3.5顆/升(FS209E100級(jí))。下面深圳億天凈化簡(jiǎn)單描述一下層流罩的塵埃粒子測(cè)試方法和條件：

　　層流罩的塵埃粒子測(cè)試方法：

　　1、關(guān)閉凈化空調(diào),使室內(nèi)≥0.5μm粒子濃度大于350 00粒/L,且吸風(fēng)口≥0.5μm粒子濃度不得小于350 00粒/L。

　　2、當(dāng)吸風(fēng)口處的粒子濃度達(dá)到穩(wěn)定條件下，在距主過(guò)濾器或整流格柵出口250 mm的平行斷面的中心處連續(xù)測(cè)試5次，求其平均值。

　　3、當(dāng)測(cè)試時(shí)有5μm粒子出現(xiàn)時(shí)，應(yīng)進(jìn)行多次采樣，當(dāng)其多次出現(xiàn)時(shí)，才認(rèn)為該測(cè)試數(shù)值是可靠。

　　4、可接受標(biāo)準(zhǔn)：≥0.5μm粒子濃度小于3.5粒/L，不準(zhǔn)許有≥5μm粒子。

　　5、檢測(cè)結(jié)果記錄表錄入。

　　層流罩的塵埃粒子測(cè)試條件：

　　1、層流罩吸風(fēng)口≥0.5μm粒子濃度不得小于35000粒/L。

　　2、層流罩吸風(fēng)口處的粒子濃度測(cè)試，需要在測(cè)試潔凈工作臺(tái)操作區(qū)粒子濃度的時(shí)間內(nèi)進(jìn)行，需測(cè)5次。

　　3、檢測(cè)儀器：美國(guó)TSI9306-04塵埃粒子計(jì)數(shù)器。